三坐標測量儀就是在三個相互垂直的方向上有導向機構、測長元件、數顯裝置，有一個能夠放置工件的工作臺(大型和巨型不一定有)，測頭可以以手動或自動方式輕快地移動到被測點上，由讀數設備和數顯裝置把被測點的坐標值顯示出來的一種測量設備。三坐標測量儀是用來測量工件物體的尺寸包括尺寸之間的關系的，如長度，對稱度，直徑，圓柱度等尺寸和形位公差。
    激光干涉儀，是以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長度測量。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作，可作為精 密工具機或測量儀器的校正工作。但是測量工件的儀器須有移動軸或者外部有移動軸，若用激光干涉儀測量工件的長度就測不了。
    從上可以看出三坐標測量儀和激光干涉儀兩者還是有本質區別的。